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奧坤鑫:等離子體發生器的應用
2016.09.12
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  【真空等離子設備】等離子體發生器的應用:
 
  低氣壓等離子體發生器已日益廣泛應用于等離子體聚合、制備薄膜、刻蝕、清洗等表面處理工藝中。成功的例子如:在半導體制作工藝中,采用氟里昂等離子體干腐蝕,用離子鍍法在金屬表面生成氮化鈦膜等。
 
  70年代以來,低氣壓等離子體對非金屬固體(如玻璃、紡織品、塑料等)的表面處理及改性技術也有迅速發展。
 
  【等離子處理機】高頻等離子體炬在工業中已有多方面的應用,特別是在等離子體化工、冶金和光學材料提純等方面。它還可制備超導材料,如用氫高頻等離子體還原釩-硅(或釩-鍺),鈮-鋁(或鈮-鍺)的氯化物蒸氣以制備超導材料。
 
  中國冶金、采礦企業中需處理的鈦礦石、含釩礦渣、磷礦石以及工業難熔廢料含稀有材料的礦渣很多,采用高頻等離子體炬是頗有前途的冶煉手段,可從中煉出有用的金屬和稀有元素。
 
  電弧等離子體發生器已在等離子體化工、冶金、噴涂、噴焊、機械加工和氣動熱模擬實驗等領域中得到廣泛應用?!?a href="http://www.c33bb.com.cn/">卷對卷等離子處理設備

 
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