【真空等離子設備】等離子體是由帶正、負電荷的離子和電子，也可能還有一些中性的原子和分子所組成的集合體。在宏觀上一般呈電中性。
等離子體可以是固態、液態和氣態。電離氣體就是一種氣態等離子體。
等離子體中的基本過程是在電場和磁場的作用下,各種帶電粒子間相互作用,引起多種效應。利用等離子體的特點可使它獲得多種應用，現已構成了電工發展的一個新領域。
等離子體的應用取決于它的性質和狀態。等離子體的性質常取決于以下因素：
①等離子體的組分，如原子、分子、離子、電子、化學基團等。
②粒子所處的狀態，如中性態、激發態、電離態、活化的分子及自由基。【等離子處理機】
③各種粒子數密度，即單位體積中的粒子數。
④各種粒子的溫度。如果電子和離子的溫度相等，稱為平衡態等離子體；反之，是非平衡態等離子體。
⑤等離子體所處的環境，如電場強度、磁場強度、電極結構、氣流、放電容器等。
⑥各種因素的作用時間。
人工等離子體的溫度大約為103 ～108 開，電子數密度約為108 ～1021／厘米3 ，電流為毫安～兆安數量級,氣體壓力為百帕～百千帕，放電頻率從直流到微波，這些參量決定了等離子體的不同應用。主要有高溫等離子體應用、熱等離子體應用、冷等離子體應用三大類。【常壓等離子設備】
