【真空等離子設備】大多數有機物氣體在低溫等離子體作用下,聚合并沉積在固體表面形成連續、均勻、無針孔的超薄膜,可用作材料的防護層、絕緣層、氣體和液體分離膜以及激光光導向膜等,應用于光學、電子學、醫學等許多領域。
以聚甲基丙烯酸甲酯或聚碳酸酯塑料均可制成價廉且易于加工的光學透鏡,但其表面硬度太低,易產生劃痕。采用有機氟或有機硅單體,采用低溫等離子體聚合技術在透鏡表面沉積出10nm的薄層,可改善其抗劃痕性和反射指數。
國外還有等離子體化學氣相沉積技術應用于塑料窗用玻璃、汽車百葉窗和氖燈、鹵天燈的反光鏡的報道。
【等離子Plasma】等離子體聚合膜具有多種性能,可使同樣的基材應用于很多領域。在金屬和塑料上涂類金剛石碳耐磨涂料的化學氣相沉積技術是把含碳氣體導入等離子體中,該涂層耐化學藥品、無針孔、不滲透,能防止各種化學藥品侵蝕基材。同樣還可將減摩涂料涂于擋風玻璃雨刮器上,或將低摩涂層涂于計算機磁盤上以降低磁頭磁撞。
等離子聚乙烯膜沉積于硅橡膠表面后,硅橡膠對氧氣的透過系數明顯降低。由含氮單體制備反滲透膜,最高可阻出98%的食鹽、生物體內的緩釋藥物一般采用高分子微囊,亦可采用等離子體聚合技術在微囊表面形成反滲透膜層。
