真空等離子處理機通過對物體表面進行等離子體轟擊，可以達到刻蝕、活化和清洗物體表面的目的。這些表面的粘合和焊接強度可以顯著提高。真空等離子處理機目前被應用于液晶顯示器、發(fā)光二極管、集成電路、印刷電路板、表面貼裝、BGA、引線框和平板顯示器的清洗和蝕刻。真空等離子處理機的集成電路可以顯著提高焊線強度，降低電路故障的可能性。當暴露于等離子體時，殘留的光刻膠、樹脂、溶液殘留物和其他有機污染物可以在短時間內(nèi)被去除。
印刷電路板制造商使用真空等離子處理機進行凈化和蝕刻，以去除鉆孔中的絕緣層。對于許多產(chǎn)品來說，它們是否用于工業(yè)。在電子、航空、健康和其他行業(yè)，可靠性取決于兩個表面之間的結(jié)合強度。無論表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料還是它們的復合材料，等離子體都有可能提高附著力和最終產(chǎn)品的質(zhì)量。等離子體改變?nèi)魏伪砻娴哪芰κ前踩h(huán)保和經(jīng)濟的。這是解決許多行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)的可行方案。
真空等離子處理機原理：活性等離子體對物體表面進行物理轟擊和化學反應的雙重作用，使待清洗物體的表面物質(zhì)變成顆粒和氣態(tài)物質(zhì)，并被抽空以達到表面處理的目的。
在整個等離子體處理過程中，影響等離子體處理效果的因素包括工藝溫度、射頻功率、氣體分布、真空度、電極設置、靜電防護等。
在液晶面板行業(yè)中，在手機、觸摸屏、筆記本電腦顯示器等產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，顯示屏與柔性薄膜電路之間的連接過去是熱壓的，即柔性薄膜電路通過加熱和加壓直接附著在帶有連接點的液晶玻璃上。該工藝要求玻璃平面清潔，但在實際生產(chǎn)、儲存和運輸過程中，玻璃表面容易被污染，如果不清潔，不可避免地會產(chǎn)生指紋或灰塵。這些表面雜質(zhì)顆粒造成的短路會導致液晶顯示器的顯示段失效一段時間，這通常表現(xiàn)為顯示屏顯示缺失或顯示紊亂。此外，由于表面張力低，薄膜電路和玻璃之間的粘附性差也會導致故障。解決這一問題的傳統(tǒng)方法是用棉簽和清洗劑手工清洗液晶玻璃，但這種處理方法會使廢品率均高達12%。真空等離子處理機的表面清洗技術(shù)用于清洗液晶顯示器玻璃，去除雜質(zhì)顆粒，提高材料的表面能，并將產(chǎn)品的成品率提高一個數(shù)量級。同時，由于噴射低溫等離子體是電中性的，在加工過程中保護膜、ITO膜層和偏振濾光片不會被損壞。處理過程可以是“在線”的，不需要溶劑，因此更環(huán)保。
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